一種絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于高效過濾器檢測(cè)

高效過濾效率高，可過濾0.5μm以下的顆粒灰塵和各種懸浮物。目前已廣泛應(yīng)用于光學(xué)電子、生物醫(yī)藥、PCB印刷等無塵凈化車間。

為了保證高效過濾器的過濾效果，高效過濾器需要在工廠進(jìn)行嚴(yán)格的泄漏檢測(cè)，其中，常見的高效過濾器泄漏檢測(cè)方法主要包括煙霧法、油法、DOP法等，這些泄漏檢測(cè)方法需要在空氣平臺(tái)上進(jìn)行實(shí)際操作，使含有特定顆粒的氣體可以通過空氣平臺(tái)進(jìn)入高效過濾器，通過檢測(cè)高效過濾器上方的氣體來檢測(cè)高效過濾器。

在上述高效過濾器的檢測(cè)過程中，高效過濾器上方的不同位置（即X軸、Y軸和Z軸方向）的氣體檢測(cè)通常通過固定在機(jī)架頂部的三維移動(dòng)裝置來驅(qū)動(dòng)氣體檢測(cè)探頭在高效過濾器上方移動(dòng)。

一般來說，三維移動(dòng)裝置由三個(gè)螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)組成，該機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)于X軸、Y軸和Z軸的方向并依次連接，而三個(gè)螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)通常由固定在機(jī)架頂部的螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)通過驅(qū)動(dòng)水平方向，如Y軸方向的螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，以驅(qū)動(dòng)另一個(gè)固定在其上方水平方向的螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，如X軸方向的螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)，Z軸方向的螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)通常在固定在X軸方向的螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上，并隨著X軸螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)而移動(dòng)。X軸方向和Y軸方向的位置確定后，Z軸方向的螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)將驅(qū)動(dòng)氣體檢測(cè)探頭到達(dá)指定位置。

因此，作為最初運(yùn)動(dòng)的螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，如Y軸方向的螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，在運(yùn)動(dòng)過程中也有很大的阻力，因?yàn)閮蓚€(gè)螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)懸掛在其上方。然而，在高效過濾器的檢測(cè)中，作為最初運(yùn)動(dòng)的螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通常只是簡(jiǎn)單地將螺桿支撐座固定在機(jī)架的頂部。這樣，螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)在水平運(yùn)動(dòng)過程中經(jīng)常會(huì)發(fā)生震動(dòng)，無法平穩(wěn)、準(zhǔn)確地移動(dòng)到指定位置，從而降低了檢測(cè)效率。