東莞HEPA高效過濾器的詳細(xì)介紹

事實(shí)上，很多人對(duì)高效過濾器的了解還是停留在表面上，

例如，我只知道潔凈室應(yīng)該在最.初的G4+中效F5+中效F9+末端安裝高效H14，但我仍然不太了解高效過濾器的一些特性！

例如，0.3um粒子的濃度不低于99.97%的效率是美國(guó)的A級(jí)高效過濾器。事實(shí)上，很少有人考慮這句話的詳細(xì)含義！

例如，H14或U15過濾器的測(cè)試粒子尺寸是什么？

1.從HEPA高效過濾器的效率入手。

HEPA-higheficiencyparticulateair是高效過濾器。

HEPA最.早的使用來自美國(guó)軍方，這與MIT相關(guān)。隨后，歐洲繼續(xù)優(yōu)化自己的規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。

目前，IEST-RP/EN1882/ISO14644三個(gè)標(biāo)準(zhǔn)在國(guó)家上流行。中國(guó)大部分項(xiàng)目都遵循EN1822標(biāo)準(zhǔn)。

IEST規(guī)定，MMD=0.3um顆粒的整體效率不低于99.97%；EN1882規(guī)定，只要MPS氣溶膠通過率大于99.95%，即H13以上；

高效過濾效率表。

1).IEST中的MMD-MassMediandiameter是指粒子質(zhì)量中徑，即所有氣溶膠粒徑分布中50%的質(zhì)量大于此值，50%的質(zhì)量小于此值。

因此，不要認(rèn)為IEST的規(guī)定@0.3um>=99.97%或@0.3um>=99.99%只是針對(duì)0.3um的要求。其實(shí)這個(gè)規(guī)定要求的是質(zhì)量中徑為0.3um的氣溶膠群，即氣溶膠是單分散相或多分散相，是一個(gè)范圍內(nèi)的氣溶膠群，絕不是單粒徑為0.3um的氣溶膠。

2).CMD-CountofnumberMediandiameter是指粒子尺寸的中徑，即50%的粒子大于此值。50%的粒子小于此值。MMD=0.3um的顆粒實(shí)際上CMD約為0.2um。這是因?yàn)殡m然大顆粒的粒子數(shù)量和重量都很小，但質(zhì)量和重量都很大。因此，在IEST上，99.97%@0.3um實(shí)際上大致相當(dāng)于EN1882MPS的粒徑。這里只是相似的，不能完全相同。

3).新版EN1822-2009將之前的E10E11E12作為HEPA分類為高效系列，與之前的EN1822-2000不同；

4)MPPS是多少？需要對(duì)某種過濾材料進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室測(cè)試，如某種玻璃纖維。需要至少進(jìn)行5次重復(fù)試驗(yàn)。每次試驗(yàn)應(yīng)發(fā)送[準(zhǔn)]分散相或多分散相顆粒，覆蓋整體0.1-0.5um范圍。最.后，用曲線做出最.低點(diǎn)。根據(jù)目前EN1822的統(tǒng)計(jì)，大多數(shù)最.易穿透的顆粒粒粒徑在0.1um-0.25um之間的一定值。從商業(yè)角度來看，氣溶膠發(fā)生器或LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不能保證為唯.一粒徑顆粒。在標(biāo)準(zhǔn)差方面，1.5多分散。需要注意的是，標(biāo)準(zhǔn)差與粒徑大小沒有直接關(guān)系，即計(jì)算結(jié)果與粒徑無關(guān)。因此，我們可以認(rèn)為，MPPS的粒徑不是針對(duì)某個(gè)粒徑，而是針對(duì)一個(gè)范圍。這就是為什么MPPS要求在實(shí)際現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試中測(cè)試一個(gè)范圍內(nèi)所有粒子的總數(shù)；它還表明，在不同的過濾風(fēng)速下，MPPS是不同的。在離開工廠之前，需要明確額定的過濾速度。

5).對(duì)于實(shí)際的MPPS測(cè)試，MPPS/1.5-MPPS*1.5范圍內(nèi)1.5范圍內(nèi)的所有粒子總數(shù)。這里隱含的條件是氣溶膠的灰塵應(yīng)該正好落在這個(gè)范圍內(nèi)，粒徑的中值CMD應(yīng)該正好等于MPPS[理想化]，EN1822規(guī)定的偏差不能超過10%；

2.氣溶膠發(fā)生器。

氣溶膠發(fā)生器可分為熱粉塵、冷粉塵、異凝粉塵、同凝粉塵等多種類型，在DPMS的幫助下，可保證單分散相粒徑的發(fā)出。

MMD=0.3UMCMD=0.2UM。

MMD=0.6UMCMD=0.4UM。

Sinclair-相異，凝結(jié)1.05。

Rapaport-weinstork發(fā)生器單分散相異，凝結(jié)1.05。

自由噴射凝結(jié)式氣溶膠發(fā)生器準(zhǔn)單分散相自凝結(jié)←=1.5。

氣溶膠粉塵+DPMS多分散電移過濾為單分散相←=1.1不穩(wěn)定。

從美國(guó)的IEST可以看出，它們使用第.一和第二種光度計(jì)來測(cè)試質(zhì)量濃度比；歐盟采用后四種測(cè)試，更加合理和優(yōu)越。但問題是MPPS不能直接測(cè)量粒徑值。實(shí)際上是一個(gè)范圍。許多工廠直接將0.1-0.2um之間的所有粒子加起來作為MPPS的數(shù)量，應(yīng)該符合MPPS/1.5-MPPS*1.5的范圍。

根據(jù)EN1822-5，如果采用單分散相粒子，則在測(cè)試效率時(shí)不計(jì)量粒子分徑。將所有粒子的數(shù)量直接加在一起，可以作為上下游的粒子計(jì)數(shù)。但這里需要注意的是，單分散相并不是真正的單分散相，而是有各種粒徑分布。只要標(biāo)準(zhǔn)差小于1.5，就可以這樣認(rèn)為。

多分散相就不是這樣了。由于標(biāo)準(zhǔn)差大于1.5，在測(cè)試過程中需要同時(shí)測(cè)量粒徑分布和數(shù)量。需要注意的是，在上下游收集時(shí)，當(dāng)MPPS已知時(shí)，只需測(cè)量MPPS/2-MPPS*2分段中的全部或部分粒子數(shù)量。

例如，現(xiàn)在EN發(fā)現(xiàn)MPPS顆粒通常位于0.1um-0.25um之間。該范圍的最.大值與最.小值之比為2.5。因此，在EN1822-5的要求下，最.好取MPPS/2-MPPS*2的所有范圍或部分。這是因?yàn)閷?shí)際的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器存在測(cè)量精度問題。眾所周知，測(cè)量分段一般為0.1um0.2um0.3um0.5um等。因此，實(shí)際結(jié)果是，大多數(shù)制造商或測(cè)試方的最.終計(jì)數(shù)結(jié)果是0.1um-0.2um之間的總數(shù)作為測(cè)量基礎(chǔ)。

根據(jù)EN1822的要求，最.佳測(cè)量范圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是，規(guī)范也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或在mpps*1.5-mpps*2的分段中選擇一組作為劑量范圍。因此，可以進(jìn)行實(shí)際測(cè)試。

MPPS/1.5-MPPS*1.5。

MPPS/2-MPPS*1.5。

MPPS/1.5-MPPS*2。

在這三種情況下進(jìn)行測(cè)量。

考慮到實(shí)際的光學(xué)粒子分析儀，應(yīng)在三個(gè)分段中選擇一個(gè)并選擇所有粒子或部分粒子。如何根據(jù)實(shí)際粒子分析儀進(jìn)行選擇。實(shí)際工程結(jié)果在0.1-0.2um之間。由于大多數(shù)MPPS看起來像0.18um，第二個(gè)分段發(fā)可以選擇0.09um-0.27um之間的部分，即0.1um-0.2um之間的值作為劑量標(biāo)準(zhǔn)。

以上是對(duì)多分散粒子試驗(yàn)的分析和說明。

3.接收方法。

一般有兩種方法。

一種是用來測(cè)量質(zhì)量濃度的光度計(jì)，不能計(jì)數(shù)。因此，可用于DOP方法測(cè)試H13和H14，尤其是在現(xiàn)場(chǎng)；

另一種是使用粒子計(jì)數(shù)器或粒徑分析計(jì)數(shù)器，它可以測(cè)量粒徑或數(shù)量。但需要注意的是，我們不能認(rèn)為它可以測(cè)量任何粒徑。它通常只能分段測(cè)量粒徑。例如，0.1um0.2um0.3um0.5um，而不是你想象的0.11um、0.157um和0.18um的粒徑。因此，粒子MPPS的實(shí)際接收在一段粒徑之間。正如上面所說。

這是因?yàn)镋N1822-3過濾材料測(cè)試的最.低MPPS點(diǎn)是通過曲線找到的，而不是實(shí)際測(cè)量的。規(guī)定至少測(cè)量六種不同的粒徑，并通過繪制曲線找到最.低MPPS。這種方法只能通過單分散相的粒子發(fā)生器進(jìn)行測(cè)試。因此，我們實(shí)際上發(fā)現(xiàn)的不是單粒徑，而是一個(gè)范圍；

此外，MPPS/1.5-MPPS*1.5之間的粒徑已被要求在EN1822-4和EN1822-5之間，因此這進(jìn)一步表明粒子分析只能測(cè)試某一段粒徑之間的粒徑，而不是

4.IEST的測(cè)試方法。

對(duì)于H13和H14，IEST需要測(cè)試質(zhì)量濃度，而對(duì)于U15以上的高要求，需要使用粒子計(jì)數(shù)器，直接讀取0.1um-0.2um或0.2um-0.3um中更不利的數(shù)據(jù)。但是，沒有必要先檢測(cè)MPPS值。

對(duì)于現(xiàn)場(chǎng)DOP檢測(cè)，很多公司使用TFI的冷粉塵。因?yàn)樗鼘儆诙喾稚㈦A段，其實(shí)結(jié)果是CMD在0.4um，MMD在0.7um，已經(jīng)超過0.3um。因此，現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試的質(zhì)量濃度比99.99%@H13H14合理。因?yàn)檫@里的結(jié)果比實(shí)驗(yàn)室的0.3um低9.99%。

對(duì)于大多數(shù)項(xiàng)目，仍然使用H14以上的高效比較保險(xiǎn)。

5.EN1822試驗(yàn)方法。

對(duì)于H10以上的，需要對(duì)MPPS進(jìn)行測(cè)試。上面已經(jīng)說明了測(cè)試方法。一般來說，它是測(cè)量一段時(shí)間內(nèi)包含MPPS粒徑的數(shù)量；

6.分析測(cè)試結(jié)果。

因?yàn)楝F(xiàn)場(chǎng)測(cè)試只能是樣本，不可能全部測(cè)試。因此，實(shí)際結(jié)果分析采用了泊松分布95%信心區(qū)間的結(jié)果。